真空系统是对电子枪室和真空工作室抽真空用的。该系统中大多使用两种类型的真空泵。一种是活塞式或叶片式机械泵，也称为低真空泵，它用以将电子枪和工作室从大气压抽到压力为10Pa左右。在低真空焊机、大型真空室或对抽气速度要求较高的设备中，这种机械泵应与双转子真空泵（亦称罗茨泵）配合使用，以提高抽速并使工作室压力降到1Pa以下。另一种是油扩散泵，用于将电子枪和工作室压力降到10^—2pa以下。油扩散泵不能直接在大气压下起动，必须与低真空泵配合组成高真空抽气机组。在设计抽真空程序时应严格按照真空泵和机组的使用要求，否则将造成扩散泵油氧化。真空容器的污染甚至会引起损坏真空设备等后果。
    为了达到抽真空的要求和保证真空泵的安全工作，应用相应的管道和阀门将真空泵与工作室连接起来，并按一定的程序用人工操作或自动控制。

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