化学成分 电子探针 摘要:电子探针X射线显微分析法简称电子探针(EPA),是利用一束能量足够高的细聚焦电子束轰击试样时,将在一个有限的深度和侧面扩展的微区体积内激发出特征X射线,再对所产生的X射线进行谱线分析,根据其中各元素标识或特征谱线的强度来确定试样中待测部位的化学成分及其含量。X射线分光系统由X射线分光器和检测器组成。目前,X射线分光器主要有两种类型:采用分光晶体对特征X射线进行分光的,是波长色散型分光器,也叫作波长色散谱仪(简称波谱仪,WDS);根据X射线能量不同进行分光的,则是X射线能谱仪(简称能谱仪,EDS)...